電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應用

電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應用

  超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導致水質(zhì)下降。 氮封閥由泄氮閥及供氮閥兩大部分組成，當儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時，泄氮閥迅速開啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。供氮閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時，開啟閥門，向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。



電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應用超純水的工藝

采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

氮封水箱一般應用在超純水系統(tǒng)中，一般用在混床或EDI電去離子設(shè)備后的需要設(shè)置緩沖水箱時，此時往往會優(yōu)先考慮采用氮封水箱來作為緩沖罐，氮氣要求純度為99%。超純水在空氣中如何被污染：，空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對這些雜質(zhì)的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右。因此必須要減少超純水與空氣接觸的機會。

序號	品  名	型 號 及 規(guī) 格	單位	數(shù)量	單　價 （元）	金 額 （元）	閥體材質(zhì)及 其它
1	氮封閥	氮封閥ZZYVP-II DN15 PN16 進口壓力 0.3-0.6 MPA, 出口壓力1 KPA	臺	1			304不銹鋼
3	呼吸閥	呼吸閥CFQ  DN25    PN16 正壓3KPA  負壓：-298PA	臺	1			304不銹鋼




   防止超純水容器被空氣污染的常見方法：

   ☆充氮法：即在水箱水面上充入氮氣使箱內(nèi)維持適當?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。

   ☆薄膜袋法：即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。

   ☆浮頂法：即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會。在上述三種方法中又以氮封水箱最常見。



 電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應用的組成：

  氮封水箱是由三部分組成：

  ☆氮氣源：通?？梢赃x用潔凈高壓氮氣瓶、制氮機、工廠現(xiàn)有潔凈壓縮氮氣……

  ☆密閉水箱：超純水水箱一定要全密封，一方面防止氮氣外泄，另外防止空氣進入水箱污染超純水。

  ☆控制系統(tǒng)：氮封閥裝置

超純水處理設(shè)備應用領(lǐng)域

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。

2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水。

3、實驗室和中試車間用超純水。

4、汽車、家電表面拋光處理。

5、光電子產(chǎn)品。

6、其他高科技精微產(chǎn)品。



電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應用超純水設(shè)備的特點：

1： 零部件均采用進口產(chǎn)品 , 質(zhì)量可靠 , 整體化程度高 , 易于擴展 , 

2：增加膜數(shù)量即可增加處理量

3: 自動化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自動保護功能

4: 膜組件為復合膜卷制而成 , 表現(xiàn)出更高的溶質(zhì)分離率和透過速率

5: 能耗低 , 水利用率高 , 運行成本低

6: 結(jié)構(gòu)合理 , 占地面積少

7: 膜保護系統(tǒng) , 在設(shè)備關(guān)機 , 淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈 , 延長膜壽命

8：系統(tǒng)無易損部件 , 無須大量維修 , 運行長期有效

9: 設(shè)備設(shè)計有膜清洗系統(tǒng)用阻垢系統(tǒng)



☆供氮閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如：1Kpa

☆泄氮設(shè)定值的設(shè)定應遠離供氮壓力值，如：3Kpa。

☆具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來確定選擇。

☆N2的純度為99。995％以上。



電子工業(yè)超純水氮封閥裝置應用

  氮封閥也好或其他類型的閥門也一樣，在閥門內(nèi)如果有異物勢必會影響閥門的正常運營和其運行的穩(wěn)定性，所以在檢修保養(yǎng)的過程中我們需要注意，在這個步驟中需要技巧性的對閥門以及管道內(nèi)的污物、焊渣及鐵銹進行檢查，如果有的話需要立即采用相應的方案來進行清除，如果管道內(nèi)經(jīng)產(chǎn)會進異物的則需要考慮在閥門上游安裝一些過濾的裝置，對異物的清除一定要做到位，否則很可能會對閥門的密封面以及閥門的閥芯和閥座形成磨損從而對閥門的運行穩(wěn)定造成影響。



氮封裝置由供氮閥、 泄氮閥、 呼吸閥 組成，供氮閥由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮閥由內(nèi)反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成，通過氮封裝置精確控制。當儲罐進液閥開啟，向罐內(nèi)添加物料時，液面上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當罐內(nèi)壓力升至高于泄氮閥壓力設(shè)定值時，泄氮閥打開，向外界釋放氮氣，使罐內(nèi)壓力下降，降至泄氮閥壓力設(shè)定點時，自動關(guān)閉。當儲罐出液閥開啟，用戶放料時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)壓力降低，供氮閥開啟，向儲罐內(nèi)注入氮氣，使罐內(nèi)壓力上升，升至供氮閥壓力設(shè)定點，自動關(guān)閉。